Schrägschliff

Diese Methode wird bei dünnen Schichten angewandt und ermöglicht die Auswertung von Schichtdicken ab ca. 0,5 µm.

Durch Verwendung eines Winkelstückes wird die Probe im Schleifvorgang schräg angeschnitten, dieses erlaubt eine Vergrößerung der physikalischen lichtmikroskopischen Auflösung. Die Messung und Beurteilung von Beschichtungen wird dadurch präziser.

Die Vorteile dieser Bearbeitungsweise gegenüber einer Standarduntersuchung sind

• eine exaktere Qualitätsprüfung der Probe bei 1000-facher Vergrößerung mit dem Lichtmikroskop
  = kein Einsatz des Rasterelektronenmikroskops erforderlich für Schichtdickenmessungen
• eine verringerte Gefahr des Ausbrechens von Schichtpartikeln
• Auskünfte über den Aufbau von Mehrlagenschichten oder gradierten Schichten